Drucksensorfehler?
Erstens: Offsetfehler: Da der vertikale Offset des Drucksensors über den gesamten Druckbereich konstant bleibt, führen Änderungen in der Diffusion des Konverters und die Korrektur der Laserjustierung zu Offsetfehlern.
Zweitens gibt es einen Empfindlichkeitsfehler: Die Größe des erzeugten Fehlers ist proportional zum Druck. Wenn die Empfindlichkeit des Geräts höher als der typische Wert ist, ist der Empfindlichkeitsfehler eine zunehmende Funktion des Drucks. Wenn die Empfindlichkeit unter dem typischen Wert liegt, ist der Empfindlichkeitsfehler eine abnehmende Funktion des Drucks. Der Grund für diesen Fehler liegt in Änderungen im Diffusionsprozess.
Der dritte ist der lineare Fehler: Dies ist ein Faktor, der einen geringen Einfluss auf den Anfangsfehler von Drucksensoren hat. Der Grund für diesen Fehler ist die physikalische Nichtlinearität des Siliziumwafers, bei Sensoren mit Verstärkern sollte jedoch auch die Nichtlinearität des Verstärkers berücksichtigt werden. Die lineare Fehlerkurve kann bei Wägesensoren eine konkave Kurve oder eine konvexe Kurve sein.
Schließlich gibt es noch den Hysteresefehler: In den meisten Fällen kann der Hysteresefehler von Drucksensoren völlig vernachlässigt werden, da Siliziumwafer eine hohe mechanische Steifigkeit aufweisen. Im Allgemeinen muss der Hysteresefehler nur in Situationen berücksichtigt werden, in denen sich der Druck erheblich ändert.
